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論文・著書情報


タイトル
和文:マイクロ波加熱を用いたNbドープTiO2薄膜の固相結晶化 
英文: 
著者
和文: 保崎 正道, 松久 将之, 遊馬 博明, 中尾 祥一郎, 長谷川 哲也, 清水 亮太, 西尾 和記, 和田 雄二, 一杉 太郎.  
英文: Masamichi Hosaki, Masayuki Matsuhisa, Hiroaki Asoma, 中尾 祥一郎, Tetsuya Hasegawa, Ryota Shimizu, Kazunori Nishio, Yuji Wada, Taro Hitosugi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2019年3月 
出版者
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会議名称
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英文:第66回応用物理学会春季学術講演会 
開催地
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