An elastomer-based MEMS fabry-perot interferometer for physical and biological sensing by dry transfer technique

論文・著書情報

タイトル

和文:	An elastomer-based MEMS fabry-perot interferometer for physical and biological sensing by dry transfer technique
英文:	An elastomer-based MEMS fabry-perot interferometer for physical and biological sensing by dry transfer technique

著者

和文:	Takahashi, K., Fujie, T., Sato, N., Takeoka, S., Sawada, K., 藤枝俊宣.
英文:	Takahashi, K., Fujie, T., Sato, N., Takeoka, S., Sawada, K., Toshinori Fujie.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
英文:	Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

巻, 号, ページ

pp. 704-707

出版年月

2017年

出版者

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会議名称

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開催地

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