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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Releasing large-area SU-8 structures without using any sacrificial layers 
著者
和文: Mao Zebing, 吉田 和弘, 金 俊完.  
英文: Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectronic Engineering 
巻, 号, ページ Volume 212        pp. 53-60
出版年月 2019年4月5日 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1016/j.mee.2019.04.006

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