Microfabrication of Concave Micromirror for Microbial Cell Trapping Using Köhler Illumination by XeF2 Vapor Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Microfabrication of Concave Micromirror for Microbial Cell Trapping Using Köhler Illumination by XeF2 Vapor Etching

著者

和文:	松谷晃宏, 佐藤美那, 長谷部浩一, 高田綾子.
英文:	Akihiro Matsutani, Mina Sato, KOICHI HASEBE, Ayako Takada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Materials

巻, 号, ページ

Vol. 31 No. 4 pp. 1325–1334

出版年月

2019年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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