Low-Temperature MoS2 Film Formation using Sputtering and H2S Annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low-Temperature MoS2 Film Formation using Sputtering and H2S Annealing

著者

和文:	清水淳一, 大橋匠, 松浦賢太朗, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 五十嵐信行, 若林整, N. Ikarashi.
英文:	J. Shimizu, T. Ohashi, K. Matsuura, I. Muneta, K. Kakushima, K. Tsutsui, N. Ikarashi, H. Wakabayashi, N. Ikarashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of the Electron Devices Society

巻, 号, ページ

Vol. 7 No. 1 p. 2

出版年月

2018年10月31日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI