Hall-Effect Mobility Enhancement of Sputtered MoS2 Film by Vapor Phase Sulfurization through Al2O3 Passivation Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Hall-Effect Mobility Enhancement of Sputtered MoS2 Film by Vapor Phase Sulfurization through Al2O3 Passivation Film

著者

和文:	M. Hamada, 松浦賢太朗, T. Sakamoto, H. Tanigawa, 大橋匠, 宗田伊理也, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	M. Hamada, K. Matsuura, T. Sakamoto, H. Tanigawa, T. Ohashi, I. Muneta, T. Hoshii, K. Kakushima, K. Tsutsui, H. Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2018 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference (S3S)

開催地

和文:
英文:	Burlingame, CA

DOI