Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers

著者

和文:	渥美賢, 乙部翔太, 古賀達也, Takashi Ichikawa, 山根大輔, 飯田慎一, 伊藤浩之, 石原昇, 曽根正人, 町田克之, 益一哉.
英文:	Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Conference Paper

巻, 号, ページ

出版年月

2019年5月12日

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:	Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019)

開催地

和文:
英文:	Paris

公式リンク

DOI