Performance enhancement of Si MOSFETs using anti-ferroelectric thin films as gate insulators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Performance enhancement of Si MOSFETs using anti-ferroelectric thin films as gate insulators

著者

和文:	Masashi Yamaguchi, 後藤高寛, Munetaka Noguchi, Mitsuru Takenaka, Shinichi Takagi.
英文:	Masashi Yamaguchi, Takahiro Gotow, Munetaka Noguchi, Mitsuru Takenaka, Shinichi Takagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月12日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)

開催地

和文:
英文:	Tokyo