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論文・著書情報


タイトル
和文:UV-O3表面酸化によるHfS2 MOSFETの性能改善 
英文: 
著者
和文: 張 文倫, 金澤 徹, 北村 稔, 宮本 恭幸.  
英文: Wenlun Zhang, Toru Kanazawa, Minoru Kitamura, YASUYUKI MIYAMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         11p-W521-4
出版年月 2019年3月11日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第66回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 大岡山 
英文: 

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