大気中での表面改質によるシリコーンとガラスの固体間直接接着法

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気中での表面改質によるシリコーンとガラスの固体間直接接着法
英文:

著者

和文:	岡田渉, 山本貴富喜.
英文:	岡田渉, Takatoki Yamamoto.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 131 No. 4 pp. 159-164

出版年月

2011年4月1日

出版者

和文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文:

DOI