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タイトル
和文:新版 ULSIデバイス・プロセス技術, 菅野卓雄(監修), 伊藤隆司(編著), 電子情報通信学会, 2013-05, A5判, 定価(本体5,600円+税) 
英文: 
著者
和文: 若林整.  
英文: Hitoshi Wakabayashi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電子情報通信学会誌 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 96    No. 11    pp. 897
出版年月 2013年11月1日 
出版者
和文:一般社団法人電子情報通信学会 
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会議名称
和文: 
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開催地
和文: 
英文: 

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