Fabrication of Si Photonics Waveguides by Thick Resist-Mask Electron Beam Lithography Proximity Effect Correction

論文・著書情報

タイトル

和文:	Fabrication of Si Photonics Waveguides by Thick Resist-Mask Electron Beam Lithography Proximity Effect Correction
英文:	Fabrication of Si Photonics Waveguides by Thick Resist-Mask Electron Beam Lithography Proximity Effect Correction

著者

和文:	MOATAZ Shaher Anis Mahmoud Eissa, 御手洗拓矢, 雨宮智宏, 西山伸彦, 宮本恭幸.
英文:	Moataz Eissa, Takuya Mitarai, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Yasuyuki Miyamoto.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月

出版者

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会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

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