Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometer

著者

和文:	曽根正人, Chang Tso-Fu Mark.
英文:	Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 1st Tokyo Tech-NCTU Joint Symposium on Advanced Materials

巻, 号, ページ

p. 20

出版年月

2019年9月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 1st Tokyo Tech-NCTU Joint Symposium on Advanced Materials

開催地

和文:
英文:	Tokyo