Chemical fluid deposition of Hf-Zr-O-based thin films using supercritical carbon dioxide fluid

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Chemical fluid deposition of Hf-Zr-O-based thin films using supercritical carbon dioxide fluid

著者

和文:	Shiokawa, M., Izaki, K., 舟窪浩, Uchida, H..
英文:	Shiokawa, M., Izaki, K., HIROSHI FUNAKUBO, Uchida, H..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Research Society Symposium Proceedings

巻, 号, ページ

Vol. 1729 pp. 99-104

出版年月

2015年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI