Pulse poling within 1 second enhance the piezoelectric property of PZT thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pulse poling within 1 second enhance the piezoelectric property of PZT thin films

著者

和文:	Kobayashi, T., Suzuki, Y., Makimoto, N., 舟窪浩, Maeda, R..
英文:	Kobayashi, T., Suzuki, Y., Makimoto, N., HIROSHI FUNAKUBO, Maeda, R..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

巻, 号, ページ

Vol. 2015-February No. February pp. 1098-1101

出版年月

2015年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI