Highly c-axis-oriented ScAlN thin films deposited using Sc-Al alloy target

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Highly c-axis-oriented ScAlN thin films deposited using Sc-Al alloy target

著者

和文:	藤井知, Sumisaka, M., Tang, G., Suzuki, Y., Otomo, S., Omori, T., Hashimoto, K.-Y..
英文:	Satoshi Fujii, Sumisaka, M., Tang, G., Suzuki, Y., Otomo, S., Omori, T., Hashimoto, K.-Y..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2015 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, IMS 2015

巻, 号, ページ

出版年月

2015年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI