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タイトル
和文:J054054 インフライトプラズマCVDによるシリコン量子ドット合成([J05405]マイクロ・ナノスケールの熱流体現象(5)) 
英文: 
著者
和文: 野崎智洋, GRESBACK Ryan, 岡崎健.  
英文: TOMOHIRO NOZAKI, GRESBACK Ryan, KEN OKAZAKI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 2011        pp. "J054054-1"-"J054054-4"
出版年月 2011年9月11日 
出版者
和文:一般社団法人日本機械学会 
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会議名称
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開催地
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