InP基板上引張歪GaAsSbとInGaAsの膜厚増加による結晶性劣化の比較 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	InP基板上引張歪GaAsSbとInGaAsの膜厚増加による結晶性劣化の比較
英文:

著者

和文:	満原学, 星拓哉, 杉山弘樹, 後藤高寛, 竹中充, 高木信一.
英文:	満原学, 星拓哉, 杉山弘樹, Takahiro Gotow, 竹中充, 高木信一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年3月11日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第66回応用物理学会春季学術講演会
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開催地

和文:
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