Amorphous IGZO TFT with High Mobility of ~70 cm2/Vs via Vertical Dimension Control using PEALD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Amorphous IGZO TFT with High Mobility of ~70 cm2/Vs via Vertical Dimension Control using PEALD

著者

和文:	Jiazhen Sheng, TaeHyun Hong, Hyun-Mo Lee, KyoungRok Kim, 笹瀬雅人, 金正煥, 細野秀雄, Jin-Seong Park.
英文:	Jiazhen Sheng, TaeHyun Hong, Hyun-Mo Lee, KyoungRok Kim, Masato Sasase, Junghwan Kim, Hideo Hosono, Jin-Seong Park.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ACS applied materials & interfaces

巻, 号, ページ

Vol. 11 No. 43 pp. 40300-10309

出版年月

2019年10月4日

出版者

和文:
英文:	American Chemical Society (ACS)

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI