Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deposition enhancement of thin films by combination design of precursor structure and coreactant gas in metal organic chemical vapor deposition process 
著者
和文: 千葉洋一.  
英文: Hirokazu Chiba.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号 甲第10978号 
学位授与日 2018/09/20 
審査員  

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.