A Validation of UV Imprint Process Simulation using a Thermo-viscoelastic Constitutive Model

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Validation of UV Imprint Process Simulation using a Thermo-viscoelastic Constitutive Model

著者

和文:	山下龍之介, 大西有希, 天谷賢治, Y. Hirai.
英文:	R. Yamashita, Y. Onishi, K. Amaya, Y. Hirai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 45th Micro & Nano Engineering Conference (MNE2019)

開催地

和文:
英文:	Rhodes