論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Resistivity Reduction of Low-Carrier-Density Sputtered-MoS2 Film using Fluorine Gas

著者

和文:	岡田泰典, 山口晋平, 大橋匠, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Yasunori Okada, Shimpei Yamaguchi, Takumi Ohashi, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Workshop on Junction Technology

開催地

和文:
英文:	Kyoto

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