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論文・著書情報


タイトル
和文:積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価 
英文: 
著者
和文: 市川 崇志, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 石原 昇, 伊藤 浩之, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Takasi Itikawa, Sayaka Koga, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         19pm4-A-4
出版年月 2019年11月19日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第11回集積化MEMSシンポジウム 
英文: 
開催地
和文:静岡県 
英文: 

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