二元同時スパッタ法で作製したAeSi2 膜(Ae= Ca, Sr, Ba)の構成相と電気特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	二元同時スパッタ法で作製したAeSi2 膜(Ae= Ca, Sr, Ba)の構成相と電気特性
英文:	二元同時スパッタ法で作製したAeSi2 膜(Ae= Ca, Sr, Ba)の構成相と電気特性

著者

和文:	青山航大, 清水荘雄, 倉持豪人, 召田雅実, 秋池良, 井手啓介, 片瀬貴義, 神谷利夫, 舟窪浩.
英文:	青山航大, 清水荘雄, 倉持豪人, 召田雅実, 秋池良, 井手啓介, 片瀬貴義, 神谷利夫, 舟窪浩.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年1月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会第58回セラミックス基礎科学討論会
英文:	日本セラミックス協会第58回セラミックス基礎科学討論会

開催地

和文:
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