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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of Lanthanum Silicate Interface Layer on the Electrical Characteristics of 4H-SiC Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors 
著者
和文: LEI YIMING, 若林 整, 筒井 一生, 岩井 洋, Masayuki Furuhashi, Shingo Tomohisa, 山川 聡, 角嶋 邦之.  
英文: Yiming Lei, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai, Masayuki Furuhashi, Shingo Tomohisa, Satoshi Yamakawa, Kuniyuki Kakushima.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectronics Reliability 
巻, 号, ページ vol. 84        pp. 248-252
出版年月 2018年5月 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1016/j.microrel.2018.03.037

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