A Defect Density Profile Extraction Method for GaN Epi-Wafers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Defect Density Profile Extraction Method for GaN Epi-Wafers

著者

和文:	H. Kataoka, 岩井洋, 星井拓也, 宗田伊理也, 若林整, 筒井一生, 岩井昇華, 角嶋邦之.
英文:	H. Kataoka, H. Iwai, T. Hoshii, I. Muneta, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, H. Iwai, K. Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ECS Meeting

開催地

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英文: