A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing

著者

和文:	古賀達也, 市川崇志, 山根大輔, 飯田慎一, 石原昇, 伊藤浩之, 町田克之, 益一哉.
英文:	Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年3月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020)

開催地

和文:
英文:	Hiroshima