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タイトル
和文:大面積集積化に向けたスパッタMoS2薄膜を用いたTop-Gate nMISFETs 
英文: 
著者
和文: 松浦 賢太朗, 清水 淳一, 外山 真矢人, 大橋 匠, 宗田 伊理也, 石原 聖也, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 小椋 厚志, 若林 整.  
英文: Kenntarou Matsuura, Junichi Shimizu, Mayato Toyama, Takumi Ohashi, Iriya Muneta, 石原 聖也, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Atsushi Ogura, Hitoshi Wakabayashi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年9月18日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第79回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:名古屋 
英文: 

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