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論文・著書情報


タイトル
和文:大面積集積化に向けたスパッタ二次元半導体 MoS2 薄膜のTop-gate nMISFETs チャネル応用 
英文: 
著者
和文: 松浦賢太朗, 清水淳一, 外山真矢人, 大橋匠, 坂本拓朗, 宗田伊理也, 石原聖也, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.  
英文: Kenntarou Matsuura, Junnichi Shimizu, Mayato Toyama, Takumi Ohashi, Takuro Sakamoto, Iriya Muneta, 石原聖也, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 小椋厚志, Hitoshi Wakabayashi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2019年2月28日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第216回研究集会 
英文: 
開催地
和文:大阪 
英文: 

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