English
Home
各種検索
研究業績検索
論文・著書検索
( 詳細検索 )
特許検索
( 詳細検索 )
研究ハイライト検索
( 詳細検索 )
研究者検索
組織・担当から絞り込む
サポート
よくあるご質問(FAQ)
T2R2登録申請
学位論文登録について
組織単位データ出力について
(学内限定)
サポート・問合せ
T2R2について
T2R2とは?
運用指針
リーフレット
本文ファイルの公開について
関連リンク
東京工業大学
東京工業大学STARサーチ
国立情報学研究所(学術機関リポジトリ構築連携支援事業)
Home
>
ヘルプ
論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
First dynamic exposure results from an electron projection lithography tool
著者
和文:
鈴木一明
,
T. Fujiwara
,
S. Kojima
,
N. Hirayanagi
,
T. Yahiro
,
J. Udagawa
,
S. Shimizu
,
H. Yamamoto
,
M. Suzuki
,
H. Takekoshi
,
S. Fukui
,
M. Hamashima
,
J. Ikeda
,
T. Okino
,
H. Shimizu
,
S. Takahashi
,
A. Yamada
,
T. Umemoto
,
S. Katagiri
,
Y. Ohkubo
,
T. Shimoda
,
K. Hirose
,
T. Tanida
,
Y. Watanabe
,
T. Kaminaga
,
Y. Kohama
,
F. Mori
,
S. Takemoto
,
T. Yoshioka
,
H. Hirose
,
K. Morita
,
K. Hada
,
S. Kawata
,
T. Sato
,
Y. Sato
,
M. Tokunaga
,
K. Okamoto
,
Y. Kakizaki
,
T. Miura
.
英文:
Kazuaki Suzuki
,
T. Fujiwara
,
S. Kojima
,
N. Hirayanagi
,
T. Yahiro
,
J. Udagawa
,
S. Shimizu
,
H. Yamamoto
,
M. Suzuki
,
H. Takekoshi
,
S. Fukui
,
M. Hamashima
,
J. Ikeda
,
T. Okino
,
H. Shimizu
,
S. Takahashi
,
A. Yamada
,
T. Umemoto
,
S. Katagiri
,
Y. Ohkubo
,
T. Shimoda
,
K. Hirose
,
T. Tanida
,
Y. Watanabe
,
T. Kaminaga
,
Y. Kohama
,
F. Mori
,
S. Takemoto
,
T. Yoshioka
,
H. Hirose
,
K. Morita
,
K. Hada
,
S. Kawata
,
T. Sato
,
Y. Sato
,
M. Tokunaga
,
K. Okamoto
,
Y. Kakizaki
,
T. Miura
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
J. Vac. Sci. Technol. B
巻, 号, ページ
Vol. 21 No. 6 pp. 2686-2690
出版年月
2003年12月4日
出版者
和文:
英文:
American Vacuum Society
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
©2007
Tokyo Institute of Technology All rights reserved.