Direct measurement of Coulomb effects in electron beam projection lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Direct measurement of Coulomb effects in electron beam projection lithography

著者

和文:	T. Yahiro, S. Suzuki, T. Irita, N. Hirayanagi, H. Shimizu, S. Kojima, K. Morita, S. Kawata, T. Okino, 鈴木一明.
英文:	T. Yahiro, S. Suzuki, T. Irita, N. Hirayanagi, H. Shimizu, S. Kojima, K. Morita, S. Kawata, T. Okino, Kazuaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. B

巻, 号, ページ

Vol. 19 pp. 2468-2473

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:	American Vacuum Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: