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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Dosage control for scanning exposure with pulsed energy fluctuation and exposed position jitter 
著者
和文: 鈴木一明, 小澤 謙, 谷津 修, 郷 勝人.  
英文: Kazuaki Suzuki, ken Ozawa, Osamu Tanitsu, Masato Go.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:JPN. J. APPL. PHYS. 
巻, 号, ページ Vol. 34        pp. 6565-6572
出版年月 1995年12月 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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