直線型IEC装置におけるイオン生成率分布の逆解析

論文・著書情報

タイトル

和文:	直線型IEC装置におけるイオン生成率分布の逆解析
英文:	Inverse Analysis of Ion-Production-Rate Distribution in a Linear IEC Device

著者

和文:	長谷川純, 板垣智信, 田端真之介, 張以澤.
英文:	Jun Hasegawa, Tomonobu Itagaki, Shinnosuke Tabata, Yize Zhang.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2019年5月

出版者

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会議名称

和文:	電気学会放電・プラズマ・パルスパワー研究会
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開催地

和文:	長岡
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