Lift-off process for fine-patterned PZT film using metal oxide as a sacrificial layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Lift-off process for fine-patterned PZT film using metal oxide as a sacrificial layer

著者

和文:	TRONG TUE PHAN, 下田達也, Yuzuru Takamura.
英文:	Phan Trong Tue, Tatsuya Shimoda, Yuzuru Takamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Micromechanics and Microengineering

巻, 号, ページ

Vol. 27 p. 014004

出版年月

2016年12月5日

出版者

和文:
英文:	IOP

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: