Fine-patterning of sol-gel derived PZT film by a novel lift-off process using solution-processed metal oxide as a sacrificial layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fine-patterning of sol-gel derived PZT film by a novel lift-off process using solution-processed metal oxide as a sacrificial layer

著者

和文:	TRONG TUE PHAN, 下田達也, Yuzuru Takamura.
英文:	Phan Trong Tue, Tatsuya Shimoda, Yuzuru Takamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ceramics International

巻, 号, ページ

Vol. 42 No. 16 p. 18431

出版年月

2016年8月29日

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: