プロトン注入による3次元的抵抗・吸収制御型高効率VCSELの設計

論文・著書情報

タイトル

和文:	プロトン注入による3次元的抵抗・吸収制御型高効率VCSELの設計
英文:	Design of 3D controlled resistance and absorption for high-efficiency VCSEL by proton implantation

著者

和文:	坂元駿斗, 宮本智之.
英文:	Hayato Sakamoto, Tomoyuki Miyamoto.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第80回応用物理学会学術講演会
英文:	The 80th Autumn Meeting of JSAP

開催地

和文:	北海道
英文: