プロトン注入による3次元的抵抗・吸収制御型高効率VCSELの評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	プロトン注入による3次元的抵抗・吸収制御型高効率VCSELの評価
英文:	Characterization of 3D controlled resistance and absorption for high-efficiency VCSEL by proton implantation

著者

和文:	坂元駿斗, 宮本智之.
英文:	Hayato Sakamoto, Tomoyuki Miyamoto.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年3月15日

出版者

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会議名称

和文:	第67回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 67th JSAP Spring Meeting, 2018

開催地

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