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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Preparation of TaNx-TiN Films by CVD 
著者
和文: 舟窪 浩, 水谷 惟恭, Mikio Kobayashi, Nobuo Kieda, Masanori Kato.  
英文: Hiroshi Funakubo, Nobuyasu Mizutani, Mikio Kobayashi, Nobuo Kieda, Masanori Kato.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J. Ceram. Soc. Jpn. 
巻, 号, ページ Vol. 98        pp. 173-178
出版年月 1990年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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