Investigation of bonding interface and strain characteristics in surface activated bonding assisted by Si-nano film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Investigation of bonding interface and strain characteristics in surface activated bonding assisted by Si-nano film

著者

和文:	Fang Weicheng, 高橋直樹, 大磯義孝, 雨宮智宏, 西山伸彦.
英文:	Weicheng Fang, Naoki Takahashi, Yoshitaka Ohiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第67回応用物理学会春季学術講演会
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開催地

和文:	東京
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