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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリングによって形成したAlScN膜のリーク電流の評価 
英文: 
著者
和文: 草深 一樹, Sunglin Tsai, 星井 拓也, 若林 整, 筒井 一生, 角嶋 邦之.  
英文: Kazuki Kusafuka, Sunglin Tsai, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, KAZUO TSUTSUI, Kuniyuki KAKUSHIMA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2019年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第80回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:北海道 
英文: 

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