TiN Capping Effect on High Temperature Annealed RE-Oxide Devices for Scaled EOT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	TiN Capping Effect on High Temperature Annealed RE-Oxide Devices for Scaled EOT

著者

和文:	耒山大祐, 小柳友常, 角嶋邦之, AHMET PARHAT, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	D. Kitayama, T. Koyanagi, K. Kakushima, P. Ahmet, K. Tsutsui, A. Nishiyama, N. Sugii, K. Natori, T. Hattori, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年10月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	218th ECS Meeting

開催地

和文:
英文:	Las Vegas, Nevada