Effect of Oxygen for Ultra-Thin La2O3 Film Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Oxygen for Ultra-Thin La2O3 Film Deposition

著者

和文:	舘喜一, 岩井洋, 服部健雄, 杉井信之, 筒井一生, P. Ahemt, 角嶋邦之.
英文:	K. Tachi, H. Iwai, T. Hattori, N. Sugii, K. Tsutsui, P. Ahemt, K. Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2006年10月29日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 Joint International Meeting of ECS

開催地

和文:
英文:	Cancun