Formation of heat resistant Ni silicide by additional Hf layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Formation of heat resistant Ni silicide by additional Hf layers

著者

和文:	Youichi Kobayashi, Ruifei Xiang, 筒井一生, 岩井洋.
英文:	Youichi Kobayashi, Ruifei Xiang, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2005年3月6日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Materials for Advanced Metallization (MAM2005)

開催地

和文:
英文:	Dresden