100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討
英文:

著者

和文:	市川崇志, 内山晃宏, 古賀達也, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 飯田慎一, 伊藤浩之.
英文:	Takasi Itikawa, Akihiro Uchiyama, Sayaka Koga, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年10月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第12回集積化MEMSシンポジウム
英文:

開催地

和文:
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