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論文・著書情報


タイトル
和文:N極性GaN HEMT構造での無電極PECエッチング 
英文: 
著者
和文: 青田 智也, 早坂 明泰, 眞壁 勇夫, 吉田 成輝, 後藤 高寛, 宮本 恭幸.  
英文: Tomoya Aota, Akihiro Hayasaka, isao makabe, Shigeki Yoshida, Takahiro Gotow, YASUYUKI MIYAMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2020年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第81回 応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
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