Numerical analysis of pattern shape deformation in UV imprint considering thermal deformation with UV shrinkage and curing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical analysis of pattern shape deformation in UV imprint considering thermal deformation with UV shrinkage and curing

著者

和文:	大西有希, 山下龍之介, 天谷賢治, Yoshihiko Hirai.
英文:	Yuki Onishi, Ryunosuke Yamashita, Kenji Amaya, Yoshihiko Hirai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science & Technology B

巻, 号, ページ

出版年月

2021年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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