SiのKOHエッチング用マスクとしてのFIB照射の利用～エッチング時間によるマスク耐性及び三次元構造の作製～ | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	SiのKOHエッチング用マスクとしてのFIB照射の利用～エッチング時間によるマスク耐性及び三次元構造の作製～
英文:

著者

和文:	佐藤美那.
英文:	Mina Sato.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年3月

出版者

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会議名称

和文:	総合技術研究会2021東北大学
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開催地

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英文:

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