微細毛構造を有する双極型静電チャックの性能向上のための加工法検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細毛構造を有する双極型静電チャックの性能向上のための加工法検討
英文:	Processing method for improving performance of bipolar electrostatic chuck with micro hairy strucrure

著者

和文:	河鰭康平, 田岡祐樹, ヘムタビーパソムポーン, 高橋邦夫, 齊藤滋規.
英文:	Kohei KAWABATA, Yuki TAOKA, Pasomuphone HEMTHAVY, Kunio TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

p. 501-502

出版年月

2020年3月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2020年度精密工学会春季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京都
英文: