複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法に開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法に開発
英文:	Development of manufacturing method of micro-hair electrostatic cyuck by water jet processing of composite material

著者

和文:	凌智寛, 田岡祐樹, ヘムタビーパソムポーン, 高橋邦夫, 齊藤滋規.
英文:	Tomohiro RYO, Yuki TAOKA, Pasomuphone HEMTHAVY, Kunio TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

p. 499-500

出版年月

2020年3月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2020年度精密工学会春季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京都
英文:

DOI