超ワイドギャップa-Ga-O薄膜トランジスタへの水素プラズマ処理効果

論文・著書情報

タイトル

和文:	超ワイドギャップa-Ga-O薄膜トランジスタへの水素プラズマ処理効果
英文:	超ワイドギャップa-Ga-O薄膜トランジスタへの水素プラズマ処理効果

著者

和文:	加藤昭宏, 笠井悠莉華, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	加藤昭宏, 笠井悠莉華, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年11月5日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	薄膜材料デバイス研究会第17回研究会「薄膜デバイスの原点」
英文:	薄膜材料デバイス研究会第17回研究会「薄膜デバイスの原点」

開催地

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英文: